设备名称型号：等离子聚焦离子束扫描电镜 Thermo Scientific Helios 5 Hydra CX

功能介绍：
将扫描电镜与等离子体聚焦离子束（PFIB） 结合，配备4种高性能等离子体离子源，对样品进行高分辨观察的同时，还可以进行面积大于50u㎡的选区离子束切割与抛光，并可通过Auto Slice & View软件进行自动选区抛光与图像收集（电子断层扫描）。

仪器特点：
（1）多离子源等离子体FIB：Hydra CX使用等离子体离子源，配备了四种可快速切换的离子源（Xe, Ar, O, N）。
（2）大束流高通量：提供卓越的大束流性能，远超传统Ga离子源（通常为几十nA），可快速加工大体积材料，实现高效的三维重构和截面分析。
（3）智能化与自动化软件：配备Auto Slice & View等软件。这些软件能实现多位点、可重复的自动化操作，大幅提升复杂实验的效率和成功率。

管理规定：
初次使用者请与平台相关人员联系，请不要擅自使用仪器。该仪器属于精密仪器，未通过考核者使用需在平台管理人员参与下进行。

所在位置：
漕宝路500号4号楼

仪器管理员与联系方式：
叫  玮 wjiao@sinh.ac.cn
王露露 llwang@sinh.ac.cn